半导体装备

气体测量控制

质量流量计(Mass Flow Meter, MFM)和质量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC)是高精度的自动测量和控制装置,用于各种流体(含蒸汽)质量流量的测量和控制。MFM精密地测量流体的质量流量,MFC精密地控制流体的质量流量的同时,还可以累计测量流体的流量。必发888登录入口依据工业领域客户新的零部件产品需求进行探索研究,深挖技术,创新产品,不断拓宽产品线,形成了流量测控、压力测控、气路系统等系列气体测量控制产品,为半导体、太阳能、燃料电池、真空镀膜、分析仪器等行业客户提供定制化零部件综合解决方案及产品服务。

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